hello，我是51房产的小叶子，不少朋友对于Empty reply from server还不是很清楚，接下来我给大家说一说

解答：

一、MEMS红外光源的特点

微型化。MEMS红外光源耗能低、惯性小、谐振频率高、响应时间短。

批量生产。用硅微加工工艺在一片硅片上可同时制造成百上千个微型机电装置或完整的MEMS，批量生产可大大降低生产成本。

可以把不同功能、不同敏感方向或致动方向的多个传感器或执行器集成于一体，或形成微传感器阵列、微执行器阵列，甚至把多种功能的器件集成在一起，形成复杂的微系统。微传感器、微执行器和微电子器件的集成可制造出可靠性、稳定性很高的MEMS。

二、MEMS红外光源相对比于传统光源有哪些优势

针对传统光源加热与冷却的物理条件并没有很好的定义的问题，利用辐射自冷却的红外光源研究应运而生，与传导散热相比，辐射散热不需要通过介质实现，因此具有瞬间相应的优点。

与传统光源相比，采用热激发电调制的方式，省去了传感体系中的斩波器，在成本、体积、电源功率以及电路复杂性上都有了很大的改进。

红外光源与MEMS工艺兼容，且适合大批量生产，具有成本低廉，性能一致的优点。

上述的解答希望对你有所帮助。