光刻胶分为哪几类(光刻胶是什么材料光刻胶分为哪几种)
2022-07-05 12:20:36
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导读 大家好,今天乐乐来为大家解答以上问题。光刻胶分为哪几类,光刻胶是什么材料光刻胶分为哪几种很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!光
大家好,今天乐乐来为大家解答以上问题。光刻胶分为哪几类,光刻胶是什么材料光刻胶分为哪几种很多人还不知道,现在让我们一起来看看吧!
光刻胶是什么材料
光刻胶是一种有机化合物,被紫外光曝光后在显影溶液中的溶解度会发生变化。硅片制造中所用的光刻胶以液态涂在硅片表面,而后被干燥成胶膜。储存时间短保质期短暂,有效期仅90天,粘附性,抗蚀性,耐热稳定性、抗刻蚀能力,具有比较小的表面张力,使光刻胶具有良好的流动性和覆盖。
光刻胶分为哪几种
1、光聚合型
采用烯类单体,在光作用下生成自由基,自由基再进一步引发单体聚合,最后生成聚合物,具有形成正像的特点。
2、光分解型
采用含有叠氮醌类化合物的材料,经光照后,会发生光分解反应,由油溶性变为水溶性,可以制成正性胶。
3、光交联型
采用聚乙烯醇月桂酸酯等作为光敏材料,在光的作用下,其分子中的双键被打开,并使链与链之间发生交联,形成一种不溶性的网状结构,而起到抗蚀作用,这是一种典型的负性光刻胶。柯达公司的产品KPR胶即属此类。
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